日本ULVAC CFB-1600K抗沖擊分子泵技術(shù)參數(shù)

發(fā)布時(shí)間： 2015-12-29　　點(diǎn)擊次數(shù)： 906次

日本ULVAC CFB-1600K抗沖擊分子泵一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

CFB-K系列抗沖擊分子泵轉(zhuǎn)子采用國(guó)家新型加工而成，提高了葉齒強(qiáng)度，分子泵高速旋轉(zhuǎn)時(shí)可以抵抗瞬時(shí)5000Pa的大氣沖擊和粉塵，廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。

日本ULVAC CFB-1600K抗沖擊分子泵二、產(chǎn)品特點(diǎn)

具有高壓強(qiáng)、抽速大的特點(diǎn)，對(duì)被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng)，由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。

日本ULVAC CFB-1600K抗沖擊分子泵三、主要性能指標(biāo)

型號(hào)		CFB-1600K
訂貨號(hào)		3183	3184
進(jìn)氣口法蘭	—	LF250	CF250
排氣口法蘭	—	KF50
抽氣速率	L/s	1600
壓縮比N2/H2	—	1×109/1×104
極限壓強(qiáng)	Pa	5×10-7	8×10-8
電機(jī)轉(zhuǎn)速	rpm	21000
啟動(dòng)時(shí)間	min	＜6
軸承	—	陶瓷軸承
前極泵	L/s	15
振動(dòng)值	μm	≤0.15
冷卻水溫度	℃	≤25
泵體烘烤溫度	℃	<120
冷卻水流量	L/min	1
泵口耐壓	Pa	7000
加熱器輸入電壓	V	AC220
安裝方向	—	垂直±5°
重量	kg	～35

四、特性曲線及安裝尺寸

CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)大氣的抽速曲線

CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線

CFB系列抗沖擊分子泵安裝尺寸表

型號(hào)規(guī)格	CFB-1600K
進(jìn)氣口法蘭	LF250	CF250
D1	Ф290	Ф305
D2	Ф296	Ф296
D3	□183.8	□183.8
L1	161	161
L2	166	166
H1	394	394
H2	110	110
H3	142.5	142.5
H4	104	104

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日本ULVAC CFB-1600K抗沖擊分子泵技術(shù)參數(shù)